如今,对于太阳能薄膜电池(非晶硅、CdTe,CIGS等)的激光划线和激光去边技术已经被广泛应用在生产线上,此外,对于薄膜电池的绝缘,透光组件(用于光伏与建筑一体化)技术也有逐渐被应用,德力激光一直在以上几个应用成为国内市场的主要供应商,并且成功与整线供应商合作,为其代工产线中所需的激光设备,目前在国内许多薄膜电池公司都可以看见我们的公司设备在量产。此外,激光技术也被应用在高效电池的研发和生产中,诸如激光钻孔(EWT&MWT),绝缘,激光掺杂等等,德力激光已经在这些方面建立了坚实的工艺基础,并获得多家电池片制造商的认可。
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刻线线宽: 12-30μm,±3μm
刻线深度: 2-5μm,±2μm
刻线速度: 可调,最大4s/片
直线度: ±20μm
工作台重复定位精度:±10μm
额定输入电压: 三相380VAC,50Hz/60Hz,带保护地线
冷却方式: 水冷
加工范围: 125×125mm、156×156mm
应用领域:
专用于晶硅太阳能电池选择性扩散
产品名称: CellScriber
应用区域: a-si/u-si·CIGS·CdTe
激光波长: 1064nm·532nm·355nm
刻划幅面: 1100×1400mm(标配)
刻划线宽: 30-250μm
刻划速度: 最大1200mm/s
分光数: 4或6或8
产品特点:
全自动CCD定位系统
全自动上下料系统(选配)
高效除尘系统
自动温控系统
便捷控制系统
应用领域:(薄膜太阳能电池)
电极刻划(P1、P2、P3)
绝缘线刻划(P4)
钻孔直径: 大于30um
•速 度: 可调,0.1s /hole(实验型)
•定位精度: ±5μm
•冷却方式: 水冷
•加工范围: 125×125,156×156mm或其他半导体硅晶圆
•应 用: 单晶硅,多晶硅等材料
激 光 器: 可选(建议532或355nm)
在0.2晶片上钻0.2毫米的孔,速度为0.2s/hole,侧壁质量良好。
描述:薄膜太阳能电池(a-Si、CI(G)S、CdTe等)刻线,应用于P1,P2,P3工业量产。根据材料对激光的吸收系数的不同,需要为特定的加工工艺选择合适的激光波长。绿激光对于硅的破坏阈值远低于其对TCO的破坏阈值,因此绿激光可以安全透过TCO膜层后,对吸收层进行刻线。P2层和P3层的刻线机理与P1层相同。由于绿光激光器的平均功率均为数瓦量级,因此能够将光束分光后进行多光束并行加工,从而进一步提高工作效率。对于P1、P2和P3层的刻线应用而言,用于微加工应用的、输出波长为1064nm和532nm的结构小巧紧凑的二极管泵浦激光器,无疑是无疑是一种理想的选择,并且这种激光器能够提供极高的脉冲稳定性。这类激光器的脉冲持续时间为8~ 40ns,脉冲重复频率为1~100kHz。