超短脉冲激光微纳加工设备

该系统配备超快激光，可实现高速振镜扫描、群孔微纳孔加工、高径深比孔、超疏水微纳结构、仿生学表面微结构的制备，以及材料表面可定制化深度、可选择材料种类的剥离、刻蚀等功能。

◆ 光束质量优异、长期工作稳定性好

◆ 可忽略的热影响

◆ 更高的单脉冲能量，更高的加工精度，可对几乎任何固体材料实现精细加工

◆ 突出的加工柔韧性，可进行任意形状细微切割

◆ 自主开发的软件控制系统，可按客户要求进行各项功能的定制与升级

◆ 集成化的系统结构设计和大理石防震工作平台，可有效提升系统的运行稳定性

◆ 加工幅面：250mm×250mm（可定制化） 

◆ 功率(W) ：100W@1064nm(可选择)

◆ 波长：1064/532/355nm（波段可选择，可集成双光路系统、三光路系统）

◆ 脉宽 ：飞秒、皮秒可选

◆ 聚焦光斑：5-25μm(可定制)

◆ 钻孔径深比：1：20（钻孔模组选择）

▌应用材料及领域

  ◆ 材料：玻璃、陶瓷、树脂、石材、蓝宝石、硅、铜、不锈钢以及各种合金材料和薄膜材料
  ◆ 应用领域：高校研究领域、半导体电子、航空航天、汽车、生物医疗等

▌加工效果示例图