晶硅电池掺杂设备
1.晶硅电池掺杂设备()
Solar-LDS主要用于PERL电池背部钝化层开槽和掺杂，在特殊的工艺条件下，激光按照图纸进行钝化层的去除，同时实现激光掺杂； 同时该设备可以实现N型电池正面SE掺杂▌产品特点： ◆ 设计结构紧凑，满足客户场地要求 ◆ 激光源稳定，满足长期高强度作业 ◆ INLINE制程，自动化程度高 ◆ 高分辨率CCD定位，高品质的机械设计，保证掺杂精度▌工作流程： ◆ 项目： 参数备注 ◆ 硅片尺寸： 156×156mm 兼容125×125mm ◆ UPH: ≥3600PCS @1mm线间距50μm线宽 ◆ Uptime： ≥95% 正常运行时间 ◆ MTBF： ≥250hours 平均故障间隔 ◆ MTTR : ≤12hours 平均恢复时间 ◆ Yield： ≥99.8% 满产率 ◆ 碎片率： ≤0.1% ◆ 切割精度 : ±0.3mm ◆ 切割深度 40μm±5μm 可定制 ◆ 其他功能 1.可用于PERL电池/N型电池 激光掺杂 2.掺硼、磷等元素 3.具有功率监控装置 ◆ 设备尺寸 2200mm×5600mm×1700mm▌应用材质 ◆ 晶硅PERL电池（单晶、多晶） ◆ 单晶N型电池▌应用领域 光伏行业
Category: 激光设备
