晶圆激光切割设备
1.玻璃晶圆激光切割设备()
型号Inducer-5080,本设备是利用可见光或者红外波段的激光对镀膜玻璃,普通玻璃等透明材料进行隐形切割切割速度快,大幅提高产能◆ 切割效果好,品质高,良率提升明显◆ 设备无需任何耗材,使用成本优势明显 激光种类:半导体泵浦皮秒激光器(532nm&1064nm)◆ 激光功率:≥1W◆ 冷却方式:封闭式循环水冷◆ X轴:行程300mm,解析度0.1μm◆ Y轴:行程280mm,解析度0.1μm◆ Z轴:行程5mm,解析度1μm◆ θ轴:行程120°,解析度0.001°◆ 最大切割厚度:1.2mm◆ 上下料方式:全自动上下料◆ 切割轴速度:0-800mm/s◆ 激光切割崩边:< 20μm应用材料和领域: ◆ 应用于摄像头行业的镀膜玻璃(滤光片)的直线切割 ◆ 适用于电子,医疗,显示行业的1mm以内普通材质玻璃或者透明材料的直线加工▌加工效果示例图:
Category: 激光设备
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2.碳化硅晶圆激光切割设备()
型号:Inducer-5560,本设备是利用超短脉冲激光实现碳化硅晶圆高质量,高效率的切割加工◆ 切割速度快,切割效果好,良率高◆ 提供整套的裂片&扩片设备,完整的解决方案◆ 工艺成熟,可针对不同类型的碳化硅晶圆进行切割 加工对象:碳化硅晶圆 ◆ 激光种类:红外皮秒脉冲激光器◆ 激光功率:≥4W◆ 冷却方式:风冷◆ X轴:行程450mm,解析度0.1um◆ Y轴:行程700mm,解析度0.1um◆ Z轴:行程20mm, 解析度0.1um◆ θ轴:行程120°,解析度0.001°◆ 最大切割厚度:1mm◆ 切割轴最大速度值:500mm/s◆ 加工尺寸:6寸(可升级至8寸)应用材料和领域:应用于航天航空、电力电子等行业微波器件,功率器件的晶圆片的切割(以碳化硅材料为基板的晶圆)▌加工效果示例图:
Category: 激光设备