激光微纳加工设备
1.超短脉冲激光微纳加工设备()
该系统配备超快激光,可实现高速振镜扫描、群孔微纳孔加工、高径深比孔、超疏水微纳结构、仿生学表面微结构的制备,以及材料表面可定制化深度、可选择材料种类的剥离、刻蚀等功能。◆ 光束质量优异、长期工作稳定性好◆ 可忽略的热影响◆ 更高的单脉冲能量,更高的加工精度,可对几乎任何固体材料实现精细加工◆ 突出的加工柔韧性,可进行任意形状细微切割◆ 自主开发的软件控制系统,可按客户要求进行各项功能的定制与升级◆ 集成化的系统结构设计和大理石防震工作平台,可有效提升系统的运行稳定性◆ 加工幅面:250mm×250mm(可定制化) ◆ 功率(W) :100W@1064nm(可选择)◆ 波长:1064/532/355nm(波段可选择,可集成双光路系统、三光路系统)◆ 脉宽 :飞秒、皮秒可选◆ 聚焦光斑:5-25μm(可定制)◆ 钻孔径深比:1:20(钻孔模组选择)▌应用材料及领域 ◆ 材料:玻璃、陶瓷、树脂、石材、蓝宝石、硅、铜、不锈钢以及各种合金材料和薄膜材料 ◆ 应用领域:高校研究领域、半导体电子、航空航天、汽车、生物医疗等▌加工效果示例图
Category: 激光设备
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2.五轴激光微纳加工设备()
设备型号:LMS-10,该设备是一套多维超快激光精细微加工系统,通过精密控制多维微位移系统的运动,实现各类斜面、锥面以及球体的三维立体空间超精细微加工。采用多轴平台,可实现各类斜面、锥面以及球体的三维立体空间超精细微纳加工。◆ 材料适应性强,对各类金属、陶瓷、晶体、半导体以及高分子聚合材料进行超精细精密钻孔、切割、蚀刻以及划槽等微加工处理。 激光种类:超短脉冲激光◆ 波长:1064nm,532nm,355nm(波段可选择,可集成双光路系统、三光路系统)◆ X/Y/Z轴定位精度:±2um / ±2um / ±4um◆ X/Y/Z轴重复定位精度:±1.5um / ±1.5um / ±3um◆ A/B角度定位精度: 0.003° / 0.003°◆ A/B角度重复定位精度:0.001° / 0.001°加工效果示例图: 合金无锥度通孔加工 脆性材料的微盲槽加工 喷油嘴打孔3D微孔加工 三维栅网加工
Category: 激光设备
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